• 環形移載式垂直連續電鍍設備

環形移載式垂直連續電鍍設備

設備能力

基板規格(軟板) 板寬:250mm*2片(Pcs)/500mm
板深:350-500mm
板厚:0.012mm(core)+12/12μm Cu~1.2mm
深鍍能力: 通孔孔徑:
≤0.1mm, TP≥120%
最小盲孔孔徑:
0.05mm,A/R≤1:1,TP≥90%
填孔能力: 最小盲孔孔徑:
0.05mm,A/R 1:1
填孔凹陷值:≤5μm
電鍍均匀性: COV≤5%(標準偏差/平均值Avg)
絕對值偏差/≤±12%
(最大max-最小min)/(2*平均值Avg)
R≤2.8μm(面銅Cu=12μm)
基板規格(硬板): 板寬:406-622mm,或355-507mm,470-725mm
板深:419-622mm,521-725mm
板厚:0.1-4.0mm
深鍍能力: 直流(DC):
最小通孔孔徑:
0.15mm,A/R≤8:1, TP≥90%
0.2mm,A/R≤10:1, TP≥85%
脈衝:
最小通孔孔徑:
0.15mm,A/R≤12:1, TP≥100%
0.2mm,A/R≤20:1, Tp≥90%
0.2mm,A/R≤25:1, TP≥85%
最小盲孔孔徑:
0.075mm,A/R≤1:1,TP≥90%
填孔能力: 最小盲孔孔徑:
0.075mm,A/R≤1:1
填孔凹陷值:≤10μm
電鍍均匀性: COV≤5%(標準偏差/平均值Avg)
絕對值偏差≤±12%,
(最大max-最小min)/(2*平均值Avg)
R≤6μm(面銅Cu=25μm)
基板規格(超大板): 板寬:585-622mm,690-725mm
最大板深:1092mm/1250mm
板厚:0.5~3.2mm
深鍍能力: 直流(DC):
最小通孔孔徑:
0.2mm,A/R≤8:1, TP≥90%
0.2mm,A/R≤10:1, TP≥85%
脈衝(Pulse):
最小通孔孔徑:
0.2mm,A/R≤12:1, TP≥100%
0.2mm,A/R≤16:1, TP≥95%
電鍍均匀性: COV≤5%(標準偏差/平均值Avg)
絕對值偏差≤±12%,
(最大max-最小min)/(2*平均值Avg)
R≤6μm(面銅Cu=25μm)

 

規格能力,以合約為據,需搭配合適的藥水及輔以適當電流密度

環形移載式垂直連續電鍍設備

適用工藝:一次銅電鍍、全板電鍍、脈衝電鍍、圖形電鍍、填孔、半填孔、软板电镀