• 一体式传动环形垂直连续电镀设备

一体式传动环形垂直连续电镀设备

设备能力

基板规格(硬板): 板宽:355-725mm
板深:521-725mm
板厚:0.3-4.0mm
深镀能力: 直流(DC)
最小通孔孔径:
0.15mm,A/R≤8:1,TP≥90%
0.2mm,A/R≤10:1,TP≥85%
脉冲
最小通孔孔径:
0.15mm,A/R≤12:1,TP≥100%
0.2mm,A/R≤16:1,TP≥90%
0.2mm,A/R≤20:1,TP≥80%
电镀均匀性: COV≤5%(标准偏差/平均值Avg)
绝对值偏差/≤±10%
(最大max-最小min)/(2*平均值Avg)
R≤5μm(面铜Cu=25μm)

规格能力,以合约为据,需搭配合适的药水及辅以适当电流密度

一体式传动环形垂直连续电镀设备

适用工艺:一次铜电镀、全板电镀、脉冲电镀