• 环形移载式垂直连续电镀设备

环形移载式垂直连续电镀设备

设备能力

基板规格(软板): 板宽:250mm*2片(Pcs)/500mm
板深:350-500mm
板厚:0.012mm(core)+12/12μm Cu~1.2mm
深镀能力: 通孔孔径:
≤0.1mm, TP≥120%
最小盲孔孔径:
0.05mm,A/R≤1:1,TP≥90%
填孔能力: 最小盲孔孔径:
0.05mm,A/R 1:1
填孔凹陷值:≤5μm
电镀均匀性: COV≤5%(标准偏差/平均值Avg)
绝对值偏差/≤±12%
(最大max-最小min)/(2*平均值Avg)
R≤2.8μm(面铜Cu=12μm)
基板规格(硬板): 板宽:406-622mm,或355-507mm,470-725mm
板深:419-622mm,521-725mm
板厚:0.1-4.0mm
深镀能力: 直流(DC):
最小通孔孔径:
0.15mm,A/R≤8:1, TP≥90%
0.2mm,A/R≤10:1, TP≥85%
脉冲:
最小通孔孔径:
0.15mm,A/R≤12:1, TP≥100%
0.2mm,A/R≤20:1, Tp≥90%
0.2mm,A/R≤25:1, TP≥85%
最小盲孔孔径:
0.075mm,A/R≤1:1,TP≥90%
填孔能力: 最小盲孔孔径:
0.075mm,A/R≤1:1
填孔凹陷值:≤10μm
电镀均匀性: COV≤5%(标准偏差/平均值Avg)
绝对值偏差≤±12%,
(最大max-最小min)/(2*平均值Avg)
R≤6μm(面铜Cu=25μm)
基板规格(超大板): 板宽:585-622mm,690-725mm
最大板深:1092mm/1250mm
板厚:0.5~3.2mm
深镀能力: 直流(DC):
最小通孔孔径:
0.2mm,A/R≤8:1, TP≥90%
0.2mm,A/R≤10:1, TP≥85%
脉冲(Pulse):
最小通孔孔径:
0.2mm,A/R≤12:1, TP≥100%
0.2mm,A/R≤16:1, TP≥95%
电镀均匀性: COV≤5%(标准偏差/平均值Avg)
绝对值偏差≤±12%,
(最大max-最小min)/(2*平均值Avg)
R≤6μm(面铜Cu=25μm)

规格能力,以合约为据,需搭配合适的药水及辅以适当电流密度

环形移载式垂直连续电镀设备

适用工艺:一次铜电镀、全板电镀、脉冲电镀、图形电镀、填孔、半填孔、软板电镀