上下移载式垂直连续电镀设备

板宽：250mm*2片（Pcs）/500mm

板深：350-500mm

板厚：0.012mm(core)+12/12μm Cu~1.2mm

通孔孔径：
≤0.1mm， TP≥120%

最小盲孔孔径：
0.05mm，A/R≤1:1，TP≥90%

最小盲孔孔径：
0.05mm，A/R 1:1

填孔凹陷值：≤5μm

COV≤5%(标准偏差/平均值Avg)

绝对值偏差/≤±12%

（最大max-最小min）/（2*平均值Avg）

R≤2.8μm(面铜Cu=12μm)

板宽：406-622mm，或355-507mm,470-725mm

板深：419-622mm，521-725mm

板厚：0.1-4.0mm

直流（DC）：

最小通孔孔径：
0.15mm，A/R≤8:1, TP≥90%
0.2mm，A/R≤10:1, TP≥85%

脉冲：

最小通孔孔径：
0.15mm，A/R≤12:1, TP≥100%
0.2mm，A/R≤20:1, Tp≥90%
0.2mm，A/R≤25:1, TP≥85%

最小盲孔孔径：
0.075mm，A/R≤1:1，TP≥90%

最小盲孔孔径：
0.075mm，A/R≤1:1

填孔凹陷值：≤10μm

COV≤5%(标准偏差/平均值Avg)

绝对值偏差≤±12%，

（最大max-最小min）/（2*平均值Avg）

R≤6μm(面铜Cu=25μm)

板宽：585-622mm，690-725mm

最大板深：1092mm/1250mm

板厚：0.5~3.2mm

直流（DC）：

最小通孔孔径：
0.2mm，A/R≤8:1, TP≥90%
0.2mm，A/R≤10:1, TP≥85%

脉冲（Pulse）：

最小通孔孔径：
0.2mm，A/R≤12:1, TP≥100%
0.2mm，A/R≤16:1, TP≥95%

COV≤5%(标准偏差/平均值Avg)

绝对值偏差≤±12%，

（最大max-最小min）/（2*平均值Avg）

R≤6μm(面铜Cu=25μm)